工業廢氣處理系統通常由以下幾個組成部分構成：

1、廢氣采集設備：用于收集工業生產過程中排出的廢氣，并將其輸送至廢氣處理設備中進行處理。廢氣采集設備包括吸風口、管道、調節閥等。

2、廢氣處理設備：用于對廢氣進行去除有毒化合物、消除異味、減少氣體濃度及化學反應等處理過程，從而達到環境和健康要求。常見的廢氣處理設備包括吸附器、催化氧化設備、光催化設備、生物反應器、濕法除塵器等。

3、排放管道與布置結構：用于將已經處理完成的廢氣排放至大氣中，一般要在管道上設置泄壓裝置、安全閥、閘門等，以及設定安全顯示相關參數的控制系統進行實時監控。

4、控制系統與儀表設備：用于對廢氣處理設備和系統的運行狀態進行實時監測和自動控制。例如廢氣質量在線監測儀、溫度控制器、反應釜自動控制系統、綜合分析執行廢氣排放限值的自動化管理系統等。

5、輔助設備：用于提供廢氣處理過程中的必要條件和支持，如加藥系統、保溫設備、吸附介質、催化劑、紫外線燈、水循環系統等。

以上是工業廢氣處理系統常見的組成部分，不同的廢氣處理系統在具體組成方面可能會有所差異。