RTO裝置氮氧化物產生量主要取決于溫度，在相同條件下，氮氧化物的生成量隨溫度增高而增大，當溫度低于1350℃時，幾乎不生成熱力型氮氧化物。

一般情況下，RTO裝置工作溫度約為760~850℃，在此情況下，熱力氧化器氮氧化物的產生量極少，因此建設項目廢氣處理系統內不設氮氧化物處理裝置。

RTO裝置是蓄熱式焚燒爐，其工作原理是將有機廢氣預熱至760℃以上，在燃燒室加熱升溫至800℃左右，使廢氣中的碳、氫、氧元素氧化分解成為無害的二氧化碳和水；氧化時的高溫氣體的熱量被特制的陶瓷蓄熱體"貯存"起來，用于預熱新進入的有機廢氣。