廢氣三級處理是指將工業廢氣經過預處理、一級處理和二級處理后，再進行第三級處理，以進一步凈化廢氣，達到排放標準的過程。

具體來說，廢氣三級處理通常包括以下幾個步驟：

1、預處理：對于一些比較大的廢氣，通常需要精良行預處理，包括去除大顆粒物、沉淀物、油脂等污染物，以減少后續處理的負擔。

2、一級處理：一級處理通常采用物理和化學方法，如噴淋洗滌、吸附、過濾等，將廢氣中的污染物去除或轉化為易于處理的物質，如將顆粒物和部分有機物轉化為沉淀物和氣體。

3、二級處理：二級處理通常采用生物處理技術，如生物濾池、生物反應器等，將廢氣中的有機物和氮氧化物等污染物通過微生物代謝轉化為無害物質，如二氧化碳和水等。

4、三級處理：三級處理通常采用氧化技術、光催化技術等，將二級處理后的廢氣進一步凈化，達到更高的排放標準。

廢氣三級處理可以有效地凈化工業廢氣，降低廢氣排放對環境的影響，同時也可以提高廢氣的再利用率，減少資源浪費。