化工廠VOCs廢氣處理的工藝流程通常包括以下幾個步驟：

1. 廢氣收集

首先，需要將化工廠產生的VOCs廢氣集中收集起來，通常通過管道系統將廢氣送至集中處理設施。

2. 預處理

針對一些高濃度的有機物，需要進行預處理以降低濃度，常用的方法包括稀釋、冷凝和吸附等。

3. 主體處理

根據VOCs的性質選擇合適的廢氣處理工藝，常用的處理方法包括催化燃燒、催化氧化、吸附解吸、等離子體處理等。催化燃燒是目前常用的方法，通過將VOCs在高溫下與氧氣反應，將有機物完全氧化成二氧化碳和水。

4. 尾氣處理

經過處理后的廢氣還可能含有少量的有機物和顆粒物，需要進行尾氣處理，常見的方法包括吸附劑過濾、布袋過濾、電除塵等。

5. 排放

經過處理后的廢氣符合排放標準，可以直接排放到大氣中，或者進一步加工利用。

整個廢氣處理過程需要根據VOCs廢氣的特性和廠區情況來確定具體的處理工藝流程，并且要滿足環保法規的要求。同時，廢氣處理過程中還需要注意操作安全和固體廢物的處理問題。

6. 其他處理技術

• 蓄熱式焚燒爐（RTO）：通過其獨特的蓄熱式陶瓷填充床換熱器，能夠更大限度地回收熱能，實現有效處理VOCs廢氣的目標。

• 吸附法：使用數方活性炭、分子篩等吸附劑，將VOCs從廢氣中分離出來。吸附后的吸附劑可以通過再生或更換來繼續使用。

• 催化氧化法：利用催化劑將VOCs氧化分解為無害的二氧化碳和水。該方法適用于中高濃度的VOCs廢氣，具有較高的轉化率和較低的能耗。

• 膜分離法：通過選擇性滲透，將VOCs從廢氣中分離出來。這種方法適用于低濃度、高風量的廢氣治理，能有效回收和處理VOCs。

• 焚燒法：通過高溫燃燒將VOCs分解為無害物質。根據廢氣濃度和特性，焚燒法可分為直接燃燒法、催化燃燒法和蓄熱式焚燒法。

以上信息提供了化工廠VOCs廢氣處理的一般流程和一些常用的處理技術，具體的處理方案需要根據工廠的實際情況和廢氣的特性來確定。