涉VOCs廢氣排放的企業，由于行業不同，其排放的VOCs廢氣成分與濃度各不相同，針對其VOCs廢氣處理的設備需要根據實際情況出發。以下列舉4款常用的VOCs廢氣處理設備：

1、催化燃燒設備

催化燃燒設備，是一款VOCs凈化設備。包括催化燃燒和氧化燃燒兩大類，其中催化燃燒爐系列（CO、RCO），在貴金屬催化劑的作用下，采用低溫（300℃）催化氧化燃燒技術，將VOCs氣體分解成CO2和H2O，完成廢氣凈化。氧化燃燒爐（TO、RTO）則無需催化劑，直接在高溫（約800℃）條件下，將各類VOCs氣體*分解*分解成CO2和H2O，從而實現廢氣凈化的目的。

2、活性炭吸附設備

活性炭吸附設備，是一款廢氣凈化前處理設備。通過大粒徑顆粒物的重力沉降，與濾材的碰撞攔截以及濾材的表面接觸阻留等作用去除廢氣中較大粒徑顆粒物。通過不同濾材的選擇，預處理設備可適用于絕大部分廢氣、除塵治理場合，如工業油霧、油煙、黏性氣態顆粒物、黏性液態顆粒物的處理，常與靜電、活性炭、催化氧化、噴淋塔等工藝協同處理。

3、UV光解凈化器

智能式UV光解凈化器利用特制的高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧(即活性氧)，廢氣通過排風設備輸入到UV光解凈化設備后，高能UV紫外線光束及臭氧對廢氣進行協同光解氧化作用，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

4、噴淋塔設備

噴淋塔設備，利用氣體與液體間的接觸，將氣體中的污染物傳送到液體中，然后再將清潔氣體與被污染的液體分離，達到凈化空氣的目的。廢氣經由填充式噴淋塔，采用氣液逆向吸收方式處理，即液體自塔頂向下以霧狀（或小液滴）噴撒而下。廢氣則由塔體（逆向流）達到氣液接觸之目的 ; 此處理方式可冷卻廢氣、去除顆粒及凈化VOCs廢氣氣體，再經過除霧段處理后，排入下一處理環節。