填料塔、洗滌塔和噴淋塔是三種常見的廢氣處理設備，它們在結構、工作原理和應用領域等方面有所不同。

1、填料塔

填料塔是一種利用填料支撐氣體和液體的設備，其結構類似于圓柱形的容器，通常由塔體、填料層、進氣口、出氣口和支撐裝置組成。填料層是由填料支撐的，填料可以是陶瓷、塑料、金屬等材質制成，形狀有蜂窩狀、波紋狀、球形等。填料塔的工作原理是將廢氣從進氣口引入塔內，經過填料層的支撐作用，廢氣與填料表面的液體充分接觸，從而達到凈化的目的。填料塔適用于廢氣中污染物種類較單一、氣液比比較高的場合。

2、洗滌塔

洗滌塔是一種將廢氣中的污染物通過水洗的方式進行凈化的設備。其結構通常由塔體、噴淋系統、進氣口、出氣口和支撐裝置組成。洗滌塔內部設有噴頭，將水噴射至填料層或廢氣中，形成水膜，廢氣中的污染物被吸附、溶解或反應生成無害物質，從而達到凈化的目的。洗滌塔適用于廢氣中污染物種類較多、氣液比比較低的場合。

3、噴淋塔

噴淋塔是一種利用噴淋系統將水或溶液噴灑至填料層或廢氣中，從而達到凈化廢氣的設備。其結構通常由塔體、噴淋系統、進氣口、出氣口和支撐裝置組成。噴淋塔內部設有填料層或噴嘴，將水或溶液噴灑至填料層或廢氣中，形成水霧或溶液霧，廢氣中的污染物被吸附、溶解或反應生成無害物質，從而達到凈化的目的。噴淋塔適用于廢氣中污染物種類較單一、氣液比比較高的場合。

綜上所述，填料塔、洗滌塔和噴淋塔在結構、工作原理和應用領域等方面存在差異，應根據具體的廢氣處理需求進行選擇。