VOCs有機廢氣處理設備的定期檢查費用通常包括以下幾個方面：

1. 人工費用：這包括專業技術人員進行檢查、維護和修理的勞務費用。

2. 檢測分析費用：可能需要對排放的廢氣進行采樣和實驗室分析，以確保設備的處理效率和排放達標，這通常涉及第三方環境監測服務的費用。

3. 備件和耗材費用：檢查過程中可能需要更換的濾芯、吸附劑、密封件等材料的成本。

4. 運輸費用：如果備件需要從供應商處訂購，可能會產生運輸費用。

5. 安全保障費用：確保檢查過程符合安全規范可能需要額外的安全裝備和措施。

6. 管理費用：包括組織和協調檢查活動的行政開銷。

7. 工具和設備使用費：專用工具和租賃的測試設備可能會產生額外費用。

8. 培訓費用：如果檢查團隊需要特定的培訓以操作新的檢查設備或程序，可能會有培訓費用。

9. 保險費用：檢查期間可能需要的保險覆蓋范圍。

10. 應急處理費用：用于應對檢查過程中出現的意外情況或緊急修理。

VOCs有機廢氣處理設備具體的費用構成可能會根據設備的類型、檢查的復雜程度、所在地區的勞動力成本以及是否包含第三方服務費用等因素有所不同。在制定預算時，企業應該考慮到所有這些潛在的費用項目。具體的檢查費用還需要根據實際服務提供商的報價和檢查清單來確定。